Þjónusta í boði
Rafmagnseinkennisgreining: DCUBE-SCM burðardreifing, CAFM straumgreining, 3D NAND tengihleðsla
Yfirborðsformfræði og gallagreining: Myndgreining á yfirborðsformgerð á nanóskala, staðsetning og greining galla, stuðningur við fínstillingu ferla
Skipulagsskoðun á nanóskala: Nanóvíra- og nanóröraskoðun, nanómynstraskoðun, mat á frammistöðu nanótækja
Skoðun pökkunarbyggingar: Eiginleikagreining hálfleiðaraefna, ný efnisrannsókn, eiginleikagreining efnisviðmóts
Eiginleikagreining umbúðaefnis: Yfirborðsskoðun flíspakkninga, skoðun á innri uppbyggingu pakka, uppgötvun og greining á galla í pakka
Miða á viðskiptavini
Hálfleiðara oblátur, FABs og pökkunarverksmiðjur
Prófunarstaðlar
ASTM E2530: AFM formfræði mælingaraðferð
SEMI MF1812: AFM prófunarleiðbeiningar fyrir yfirborðsgrófleika hálfleiðara
Þjónustubakgrunnur
Markaðurinn fyrir atómsmásjár (AFM) er að upplifa verulegan vöxt vegna aukinnar eftirspurnar eftir nanótækni og hár-myndgreiningarlausnum. Alþjóðlegt markaðsvirði er áætlað 1,75 milljarðar Bandaríkjadala árið 2025 og er spáð að það muni vaxa í 3,02 milljarða Bandaríkjadala árið 2033, sem jafngildir 7,09% CAGR. Markaðseftirspurn kemur fyrst og fremst frá mörgum sviðum, þar á meðal lífvísindum, efnisvísindum og hálfleiðurum. Í hálfleiðaraframleiðslu er AFM (Autonomous Motion Detection) mikilvægt til að skoða eiginleika á nanóskala.
Þjónustugildi
R&D gildi
Ný efnisskimun og hagræðing: Flýtir fyrir skimun nýrra hálfleiðaraefna (há-k háfjarlægð raflagsviðmótsfínstilling), veitir örbyggingargögn, auðveldar R&D bylting og veitir sterkan stuðning við þróun nýrra vara í hálfleiðara oblátur, FABs og pökkunarverksmiðjum.
Staðsetning galla á nanóskala: CAFM einingin veitir skjóta myndgreiningu á 10 mínútum, staðsetur nákvæmlega rafgalla á nanóskala. Þetta bætir skilvirkni rannsókna og þróunar, styttir framleiðslulotur og hjálpar fyrirtækjum að ná samkeppnisforskoti á markaðnum.
Framleiðsluverðmæti
Skoðun á netinu og gæðaeftirlit: ScanAsyst skannar sjálfkrafa og greinir mengun á yfirborði skúffu og vélrænni skemmdum, sem gerir rauntíma-gæðaeftirlit kleift meðan á framleiðslu stendur, tryggir samkvæmni vöru og dregur úr framleiðslukostnaði.
Sérsniðin prófunaraðlögun: Sérsniðið rannsakabókasafn með yfir 40 rannsaka sem hægt er að laga að mismunandi skoðunarsviðum veitir sveigjanlegar skoðunarlausnir til að mæta fjölbreyttum framleiðsluþörfum og bæta framleiðslu skilvirkni.
Gildi bilunargreiningar
Greining galla á nanóskala: Há-myndgreining og fjölmótagreining greina nákvæmlega orsakir bilana, veita mikilvæg gögn til að bæta vöru, draga úr bilunaráhættu og tryggja gæði vöru.
Dæmirannsókn
Hálfleiðara flísaframleiðsla lenti í mengunarvandamáli á yfirborði skúffunnar við framleiðslu og leitaði lausnar.
GRGTEST Mæling notaði Dimension ICON6 fyrir XXnm ferli skoðun. ScanAsyst háttur þessa búnaðar greindi fljótt uppsprettu mengunar, sem bætti eftirlitsnákvæmni og skilvirkni verulega, gerði kleift að breyta framleiðsluferlinu tímanlega og leysa vandamálið.
maq per Qat: afm (atomic force microscopy) greining, Kína afm (atomic force microscopy) greining þjónustuaðili
